Web of Science®
ФТИ в 2000–20 гг.
Статей 24465
Цитируемость
суммарная 320835
на статью 13.1
Индекс Хирша 168
G-индекс 284
Scopus®
ФТИ в 2000–20 гг.
Статей 27734
Цитируемость
суммарная 344960
на статью 12.4
Индекс Хирша 177
G-индекс 295
Основные достижения
Отчет ФТИ 2020
 

Основные достижения 2019 года

Перечень 

Исследование микропор в монокристаллах SiC методом фазово-контрастного изображения в синхротронном излучении

Аргунова,ТС
лаб. дифракционных методов исследования реальной структуры кристаллов (Аргуновой,ТС)

Проблема неоднородности внутренней структуры кристаллических материалов электронной техники не решена до сих пор. Реальные кристаллы содержат микронеоднородности с размерами от долей микрона до нескольких микрон: трещины, поры, включения и области, в которых наблюдается слабое изменение плотности по отношению к матрице. Полную картину с изображением этих дефектов можно получить неразрушающим методом фазово-контрастного изображения объектов на просвет в синхротронном излучении (СИ). Однако для определения их параметров, а именно: размеров, формы, плотности распределения, требуется развивать способы решения обратной задачи. Экспериментально исследованы монокристаллы карбида кремния (SiC) большого диаметра (6–8 дюймов) для промышленных применений. Разработана количественная фазово–контрастная технология для диагностики микропор в пространственно-неограниченном пучке СИ от источников с малым эмиттансом. Путем моделирования изображений микропор установлены закономерности их образования и эволюции при кристаллизации SiC.

Публикации

  1. Т. С. Аргунова, В. Г. Кон. Исследование микропор в монокристаллах методом фазово–контрастного изображения на просвет в синхротронном излучении, Успехи Физических Наук, 2019, Том 189, 6, cтр. 643-658
Яндекс.Метрика
© 2005–2020 разработка и сопровождение: ОНТИ ФТИ им. А.Ф. Иоффе